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最近常在找stage的規格
以前在lab都是隨便看功能,只看幾個很基礎的spec就用了
travel
degree of freedom (ex: 3 or 2 or 1 axis)
是否有tilt功能
stage尺寸是否可塞入空間
很多時候甚至就是看lab裡面有哪些,就拿來try看看
但現在就不是這樣
常常老師就叫我比較一下各產品
所以翻了好幾遍catalog
現在才算是稍微了解一點點stage
stick-slip effect
指的是在不同摩擦力作用改變下造成的拖曳拉動
靜摩擦比動摩擦來的大
所以在stage操作上,施加力量推動stage,力量要大於靜摩擦才會移動
因為此時Stage受到的摩擦力已經是動摩擦力了,行成一個瞬時的力量提升
此時stage產生跳動才會開始位移
這個現象侷限了stage的解析度,也就是stage最小位移(minimum incremental motion, MIM)
所以當摩擦力越大,stage的解析度也越差
另外工程上的一個trade-off,friction越大代表能承受的負載也大
也就是說解析度越高的stage越不能載重
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