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理想上stage移動是xyz每一軸在移動的時候
都可以分開獨立，單純只移動一軸
也就是說，我在移動x方向時，只會有x方向的位移
不會有往其他方向去
但真實世界是不可能的
單一軸在移動，一定會多少造成往其他方向跑
這就是coupled motion
如Yaw, Roll, Pitch
x在移動，絕對不只x，可能會有點往y 或z偏移
通常行程越大，誤差就越大
有時候會用sensor來做回饋控制，但這就增加了成本
而且sensor的安排設計也是關鍵因素
當然也可以用演算法來做補償，不過這不容易
這種coupled motion不一定有很高的再現性
抓不準移動多少他會偏移error多少，自然不知道怎樣補償
而且廠商要經過多方測試才能知道移動特性，抓出參數，是耗時費工的苦差事
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